以无生命微粒为控制的对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。电子工厂洁净厂房的设计、建造必须适应电子行业快速发展的需要。从洁净厂房的规划开始,对于电子工厂洁净厂房的工艺设计、工艺布局应充分考虑电子产品发展的灵活性,以满足电子产品生产工艺改造和扩大生产的需求。同时考虑系统的节能运行。
GB50472-2013洁净厂房设计规范
GB50472-2008-电子工业洁净厂房设计规范
■ 服务领域:精密机械制造、汽车零部件生产、电讯设备制造、光学仪器仪表生产等。
■ 重点注意事项:
1、人流
1-1、人员净化:
1-2、洁净室入口宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室;
1-3、单人空气吹淋室,应按最大班人数30人设一台。洁净室人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门;
1-4、空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施;
1-5、空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室,宜设气闸室。
2、物流
2-1、洁净室内的设备和物料出入口,应独立设置,并应根据设备和物料的特征、性质、形状等设置净化用室及相应的物净设施。
2-2、物料净化用室与洁净室之间应设置气闸室或传递窗。
3、静压差
3-1、不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa;
3-2、洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa;
3-3、洁净室与室外的静压差应大于10Pa。
洁净室空气洁净度等级表
空气洁净度等级(N) | 大于或等于要求粒径的最大浓度限值(pc/m3) |
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm |
1 | 10 | 2 | -- | -- | -- | -- |
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | -- | -- |
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | -- |
4 | 10000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | -- |
5 | 100000 | 23700 | 10200 | 3520 | 832 | 29 |
6 | 1000000 | 237000 | 102000 | 35200 | 8320 | 293 |
7 | -- | -- | -- | 352000 | 83200 | 29300 |
8 | -- | -- | -- | 3520000 | 832000 | 29300 |
9 | -- | -- | -- | 35200000 | 8320000 | 293000 |